Valgmetode for vakuumpumpe
Når du velger en vakuumpumpe, må du være oppmerksom på følgende saker:
1. Arbeidstrykket til vakuumpumpen skal oppfylle de endelige vakuum- og arbeidstrykkkravene til vakuumutstyret. For eksempel krever vakuumbelegg en vakuumgrad på 110-5mmHg, og vakuumgraden til den valgte vakuumpumpen skal være minst 510-6mmHg. Vanligvis er vakuumgraden til pumpen valgt til å være halvparten til en størrelsesorden høyere enn vakuumgraden til vakuumutstyret.
2. Velg arbeidspunktet til vakuumpumpen på riktig måte. Hver pumpe har et visst arbeidstrykksområde, for eksempel: diffusjonspumpen er 10-3 ~ 10-7mmHg, i et så bredt trykkområde, pumpehastigheten til pumpen endres med trykket, og det stabile arbeidstrykkområdet er 510-4 ~ 510-6mmHg. Derfor bør pumpens arbeidspunkt velges innenfor dette området, og det kan ikke tillates å jobbe lenge under 10-8mmHg. Et annet eksempel er at titan sublimeringspumpen kan fungere under 10-2mmHg, men arbeidstrykket skal være mindre enn 110-5mmHg.
3. Under arbeidstrykket skal vakuumpumpen kunne fjerne all gassen som genereres i prosessen med vakuumutstyret. 4. Kombiner vakuumpumpen riktig. På grunn av selektiv pumping av vakuumpumper, kan noen ganger en type pumpe ikke oppfylle pumpekravene, og flere pumper må kombineres for å utfylle hverandre for å oppfylle pumpekravene. For eksempel har titan sublimeringspumpen en høy pumpehastighet for hydrogen, men kan ikke pumpe helium, mens den trepolede sputtering ionpumpen (eller den topolede asymmetriske katoden sputtering ionpumpe) har en viss pumpehastighet for argon. Kombinert vil vakuumenheten få en bedre vakuumgrad. I tillegg kan noen vakuumpumper ikke fungere under atmosfærisk trykk og krever forvakuum; Noen vakuumpumper har et utløpstrykk lavere enn atmosfærisk trykk og krever en forpumpe, så de må alle brukes i kombinasjon.
5. Krav til oljeforurensning av vakuumutstyr. Hvis utstyret er strengt pålagt å være oljefritt, bør ulike oljefrie pumper velges, for eksempel: vannringpumpe, molekylær sil adsorpsjonspumpe, sputtering ionpumpe, kryogene pumper, etc. Hvis kravene ikke er strenge, kan du velge en oljepumpe, pluss noen anti-olje forurensningstiltak, for eksempel å legge til kalde feller, hvelv, oljefeller, etc., kan også oppfylle kravene til rent vakuum.
6. Forstå sammensetningen av den pumpede gassen, om gassen inneholder kondenserbar damp, om det er partikkelstøv, om det er etsende osv. Når du velger en vakuumpumpe, må du kjenne gasssammensetningen og velge den tilsvarende pumpen for gassen som skal pumpes. Hvis gassen inneholder damp, partikler og etsende gasser, bør det vurderes å installere hjelpeutstyr som kondensatorer, støvsamlere, etc. på pumpens innløpsrørledning.
7. Hvordan påvirker oljedampen som slippes ut fra vakuumpumpen miljøet? Hvis miljøet ikke tillater forurensning, kan du velge en oljefri vakuumpumpe eller slippe ut oljedampen til utsiden.
8. Om vibrasjonen som genereres av vakuumpumpen har noen innvirkning på prosessen og miljøet. Hvis prosessen ikke tillater det, velg en pumpe uten vibrasjon eller ta antivibrasjonstiltak.
9. Prisen, drifts- og vedlikeholdskostnaden til vakuumpumpen.